白光干涉儀是一種新型的表面形貌測量方法，能夠實現對樣品表面形貌的三維測量。它通過掃描定位被測樣品表面各點的干涉位置得到表面各點相對高度，重構表面三維輪廓，實現對樣品表面三維形貌的測量。
白光干涉儀的三大性能特點
精度高、高重復性、高穩定性
1）采用光學干涉技術、精密Z向掃描模塊組成測量系統，保證測量精度高；
2）精密的Z向掃描模塊和*的測量模式，保證測量重復性高；
3）高性能的內部抗震設計，為測量高穩定性保駕護航。
操作便捷的測量軟件
依托人性化設計的測量軟件，W11100光學3D表面輪廓儀的操作具備如下特點：
1）XYZ三軸均采用電動控制，比手動調節省時更省力；
2）可視化窗口，便于用戶實時觀察掃描過程；
3）掃描完成后，掃描模塊自動跳轉初始位置，無須用戶重復操作；
4）Z向運動具備ZSTOP控制功能。
功能強大的XtremeVisionBasic版3D形貌分析軟件
XtremeVisionBasic版3D形貌分析軟件，在分析功能上具有如下特點：
1）強大的分析工具，不僅具備各種粗糙度參數分析功能，還具備強大的幾何輪廓分析功能；
2）一鍵分析，常用的分析流程可保存為方案，測同種樣品一鍵獲取分析結果，提高批量測量效率；
3）測量參數多，可測依據ISO/ASME/GBT等標準的近百余種2D、3D參數。
